上海半自動(dòng)FOUP清洗機(jī)出廠價(jià)

    來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-12-24

    FOUP清洗設(shè)備是用于半導(dǎo)體制造中的FOUP(Front Opening Unified Pod)清洗的設(shè)備。FOUP清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵設(shè)備,它能夠有效地清洗FOUP,確保晶圓在制造和運(yùn)輸過程中不受到污染。FOUP是用于存儲(chǔ)和運(yùn)輸半導(dǎo)體晶圓的標(biāo)準(zhǔn)化容器。FOSB清洗設(shè)備旨在確保FOUP內(nèi)部的潔凈度,以防止污染影響晶圓生產(chǎn)。該設(shè)備通常包括洗滌、漂洗和干燥功能,能夠有效去除FOUP內(nèi)部的微粒和有機(jī)物。通過使用FOSB清洗設(shè)備,半導(dǎo)體制造廠商可以確保FOUP在使用前達(dá)到所需的潔凈度標(biāo)準(zhǔn),從而減少晶圓生產(chǎn)過程中的污染風(fēng)險(xiǎn)。芯夢設(shè)備具有靈活的生產(chǎn)模式,滿足你的個(gè)性化需求!上海半自動(dòng)FOUP清洗機(jī)出廠價(jià)

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    從FOUP清洗機(jī)市場規(guī)模發(fā)展現(xiàn)狀來看,2022年中國FOUP清洗機(jī)市場規(guī)模達(dá)億元(人民幣)。針對(duì)全球FOUP清洗機(jī)市場,貝哲斯咨詢預(yù)測,2022-2028年FOUP清洗機(jī)市場規(guī)模將從億元增長至億元,CAGR大約為%。報(bào)告通過分析涵蓋市場驅(qū)動(dòng)因素、障礙因素、機(jī)遇、威脅以及市場各細(xì)分領(lǐng)域發(fā)展情況等各方面市場信息,旨在提供深入的FOUP清洗機(jī)市場評(píng)估與策略建議。就產(chǎn)品類型來看,F(xiàn)OUP清洗機(jī)行業(yè)可細(xì)分為全自動(dòng)FOUP清潔機(jī),手動(dòng)FOUP清潔機(jī)。其中是收入市場,2022年市場規(guī)模達(dá)億元,市場份額達(dá)%,預(yù)計(jì)到2028年市場份額將會(huì)達(dá)到%。從終端應(yīng)用來看,F(xiàn)OUP清洗機(jī)可應(yīng)用于IDM廠商,Foundry鑄造廠等領(lǐng)域。目前領(lǐng)域需求量,2022年占據(jù)%的市場份額。預(yù)計(jì)領(lǐng)域在未來幾年內(nèi)需求會(huì)逐步上升。青海半自動(dòng)FOUP清洗機(jī)報(bào)價(jià)我司設(shè)備操作界面直觀,操作簡便,提高使用效率!

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    FOUP是一種用于運(yùn)輸和儲(chǔ)存半導(dǎo)體晶圓的載具,因此,F(xiàn)OUP內(nèi)可能存在多種類型的污染物。以下是一些常見的FOUP內(nèi)污染物的種類:

    顆粒:顆粒是常見的FOUP內(nèi)污染物之一。它們可以是空氣中懸浮的固體顆粒,如灰塵、細(xì)粉、纖維等,也可以是由FOUP本身或制造過程中產(chǎn)生的顆粒,如塑料碎片、金屬屑等。顆粒對(duì)半導(dǎo)體制造過程非常敏感。

    油脂和有機(jī)物:FOUP內(nèi)可能存在油脂和有機(jī)物的污染,這些污染物可以來自FOUP制造材料中的殘留物、操作人員的接觸、環(huán)境空氣中的揮發(fā)物等。

    水分:水分是另一個(gè)常見的FOUP內(nèi)污染物。它可以來自環(huán)境濕度、沖洗過程中的殘留水、操作人員的接觸等。水分在半導(dǎo)體制造過程中可能引起氧化、腐蝕和電性能問題。

    化學(xué)物質(zhì)殘留:FOUP內(nèi)可能存在一些化學(xué)物質(zhì)的殘留,如清洗劑、腐蝕劑、溶劑等。這些殘留物可能對(duì)晶圓表面和器件產(chǎn)生不良影響。

    靜電電荷:FOUP內(nèi)的靜電電荷也可能成為一種污染物,對(duì)晶圓和器件產(chǎn)生影響。靜電電荷可能導(dǎo)致電性能問題、顆粒吸附以及靜電放電等問題。

    清洗晶圓盒的方法通常涉及以下幾個(gè)步驟:檢查:首先,需要對(duì)晶圓盒進(jìn)行檢查,確保沒有損壞或者異物殘留在盒內(nèi)。去除大顆粒物:使用氣體或者其他工具去除晶圓盒表面的大顆粒物,如灰塵、碎屑等。清洗:將晶圓盒放入清洗設(shè)備中,使用超聲波清洗或者噴淋清洗等方法,利用清洗溶液或者去離子水對(duì)晶圓盒進(jìn)行徹底清洗。漂洗:清洗后,需要對(duì)晶圓盒進(jìn)行漂洗,以確保清洗溶液或者去離子水完全去除。干燥:將晶圓盒放入干燥設(shè)備中,使用熱風(fēng)或者氮?dú)獾确椒▽?duì)晶圓盒進(jìn)行干燥,確保盒內(nèi)干凈并且沒有水分殘留。芯夢制造的設(shè)備采用品質(zhì)材料,使用壽命長,是你的長久伙伴!

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    產(chǎn)品介紹:半導(dǎo)體清洗機(jī)請(qǐng)認(rèn)準(zhǔn)江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司,經(jīng)營各類半導(dǎo)體清洗機(jī),為國內(nèi)半導(dǎo)體清洗機(jī)專業(yè)供應(yīng)商,其中就包含F(xiàn)OUP清洗機(jī)。

    FOUP清洗機(jī)是一種自動(dòng)的離心清洗機(jī),適用于所有類型的晶圓料盒(SmifFoup、Fosb、Cassette),可以實(shí)現(xiàn)良好的清洗和干燥效果。裝載有待清洗的foup,在Chamber的中心轉(zhuǎn)軸上安裝和固定,在封閉的清洗室內(nèi)360°正反轉(zhuǎn)動(dòng)。由DIWater的表面張力、機(jī)械力進(jìn)行Particle清洗,離心+熱風(fēng)進(jìn)行烘干等工藝組成,高效率、高質(zhì)量完成foup的Particle清洗。

    設(shè)備特點(diǎn):

    ●多達(dá)十段清洗流程設(shè)定,工藝窗口更寬;

    ●含有自動(dòng)執(zhí)行狀態(tài)顯示,快速檢視狀態(tài)及工作時(shí)間;

    ●扭力偵測轉(zhuǎn)籃卡榫未定位保護(hù),降低因人為導(dǎo)致設(shè)備損壞;

    ●主軸以伺服馬達(dá)控制達(dá)到穩(wěn)定加減速及轉(zhuǎn)速數(shù)值化設(shè)定控制;

    ●旋轉(zhuǎn)式離心清洗,可正反調(diào)速旋轉(zhuǎn),清理產(chǎn)品表面的附著殘留;

    ●以IR烘烤加速干燥時(shí)間,無任何水份殘留;

    ●采用體(二流體選項(xiàng))的清洗模式,能有效的去處微小的污染物;

    ●操作程序PLC控制可按作業(yè)需求自由調(diào)整,方便快捷,人性化設(shè)計(jì)。

    應(yīng)用范圍:

    該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制程的Foup、Fosb、Cassette的Particle清洗。


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    FOUP清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造行業(yè)中一種關(guān)鍵設(shè)備,專門用于清洗和處理FOUP(FrontOpeningUnifiedPod)。FOUP是一種封閉式容器,用于存放和保護(hù)晶圓。FOUP清洗機(jī)通過自動(dòng)化的清洗過程,確保FOUP內(nèi)外的高純度和可靠性。FOUP清洗機(jī)具備多種功能,能夠去除FOUP內(nèi)的各種污染物,如油脂、有機(jī)物、化學(xué)物質(zhì)殘留和水分。它采用先進(jìn)的清洗技術(shù)和工藝參數(shù),如噴淋清洗、超聲波清洗、高溫處理等,以確保徹底去除污染物,并不會(huì)對(duì)FOUP造成損害。該設(shè)備具有高效性和自動(dòng)化特點(diǎn)。它能夠在短時(shí)間內(nèi)完成清洗過程,提高生產(chǎn)效率。自動(dòng)化控制系統(tǒng)確保清洗過程的精確執(zhí)行,減少人為操作的誤差和風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí),清洗機(jī)通常配備直觀的用戶界面和操作控制面板,使操作人員能夠輕松控制和監(jiān)測清洗過程。FOUP清洗機(jī)還注重安全性和可靠性。它采用高質(zhì)量的材料和密封結(jié)構(gòu),確保清洗過程中不會(huì)對(duì)FOUP造成損害。安全控制系統(tǒng)和報(bào)警裝置能夠確保操作人員的安全。此外,清洗機(jī)通常具有數(shù)據(jù)記錄和追溯功能,方便對(duì)清洗過程進(jìn)行監(jiān)控和分析。綜上所述,F(xiàn)OUP清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中不可或缺的設(shè)備,通過高效、自動(dòng)化的清洗過程,確保FOUP內(nèi)外的高純度和可靠性,為晶圓生產(chǎn)提供重要保障。上海半自動(dòng)FOUP清洗機(jī)出廠價(jià)

    芯夢圍繞公司價(jià)值觀,服務(wù)、創(chuàng)新、奮斗、分享、團(tuán)結(jié),始終堅(jiān)持為客戶提供技術(shù)創(chuàng)新和質(zhì)量過硬的自主可控的半導(dǎo)體設(shè)備,不斷追求質(zhì)量精益求精和環(huán)境友好,先后通過了ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證和ISO140001環(huán)境管理體系認(rèn)證。我們的全自動(dòng)ENEPIG化學(xué)鍍?cè)O(shè)備、全自動(dòng)/半自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)、全自動(dòng)單片清洗機(jī)等產(chǎn)品均通過了SEMIS2、S8等國際半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證。近年來,芯夢蓬勃發(fā)展,榮獲了國家高新技術(shù)企業(yè)、江蘇省潛在獨(dú)角獸企業(yè)、蘇錫常首臺(tái)套重大裝備、江蘇省企業(yè)工程技術(shù)研究中心、江蘇省三星級(jí)上云企業(yè)等多項(xiàng)榮譽(yù)資質(zhì)。

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