上海全自動晶圓盒清洗機聯(lián)系方式

全自動FOUP清洗機

特征和優(yōu)點：

可應(yīng)用不同化學(xué)品(稀釋劑)來清洗；

泵傳輸清洗液；

計量調(diào)整可通過軟件設(shè)置控制操作；

熱水噴淋裝置；

熱水一般由廠務(wù)供應(yīng)一標(biāo)準(zhǔn)化；

或有一個體積約100升的熱水預(yù)備槽(循環(huán)泵和加熱棒用于熱水預(yù)備槽選項)

圖形化的界面：

易于操作和控制；

10“觸摸屏PLC控制器；

SECSIIGEM接口一選項>授權(quán)訪問的密碼保護(hù)；

可以編輯40多個菜單，每個菜單可有50步；

可變量數(shù)據(jù)輸入(時間、溫度、速度等)；

設(shè)備背面安裝第二個觸摸屏一選項；

芯夢設(shè)備采用高效節(jié)能技術(shù)，助你節(jié)約能源開支！上海全自動晶圓盒清洗機聯(lián)系方式

優(yōu)點

裝載晶圓直徑至200mm的花籃和片盒一或不同晶圓尺寸的花和片盒，同時可裝載晶圓直徑至300mm的前端開口片盒(Foup片盒)三種設(shè)備尺寸滿足客戶特殊需求

CleanStepl-用于4組花籃和片盒加載和清洗能力:每次4組花和片盒清洗產(chǎn)能:每小時12組花籃和片盒、>、CleanStepll-用于8組花籃和片盒加載和清洗能力:每次8組花籃和片盒清洗產(chǎn)能:每小時24組花籃和片盒

CleanStepIl-用于6組前端開口片盒(Foup)加載和清洗能力:每次6組前端開口片盒(Fup片盒)清洗產(chǎn)能:每小時18組前端開門片盒(Foup片盒)

適用于晶圓直徑至200mm的花籃和片盒的標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)籠(CleanstepI/II)

適用于所有片盒一次清洗過程

或是同時4組花籃和片盒，或是12個花跨(CleanstepI/II)

簡單快捷的對不同尺寸的片盒和花籃進(jìn)行切換

旋轉(zhuǎn)籠內(nèi)的可旋轉(zhuǎn)載體方便加載或卸載花籃和片盒

通過控制系統(tǒng)對自鎖裝置的檢測，達(dá)到安全加載片盒和花籃，、 半自動花籃清洗機單價選擇江蘇芯夢設(shè)備，讓你的生產(chǎn)更加智能化、自動化！

功能配置說明：

1.管路配置：壓力檢測系統(tǒng)、流量檢測系統(tǒng)、溫度檢測系、漏液檢測系統(tǒng)；

2.加熱系統(tǒng)：閉環(huán)溫度控制系統(tǒng)、超溫切斷系統(tǒng)，微曲線加熱算法、系統(tǒng)宕機應(yīng)急閉環(huán)系統(tǒng)；

3.真空與N2平衡系統(tǒng)：真空度檢測監(jiān)控保壓系統(tǒng)、N2平衡配比凈化系統(tǒng)；

4.N2Purge系統(tǒng)：溫濕度高速檢測系統(tǒng)、平衡FOUP壓力與溫濕度算法；

5.Robot安全控制系統(tǒng)：設(shè)置空間安全虛擬圍欄，曲線算法路徑；

6.空FOUP檢測系統(tǒng)：FOUP物料感知系統(tǒng)，檢測FOUP進(jìn)料狀態(tài)；

7.RFID數(shù)據(jù)系統(tǒng)：FOUP實時狀態(tài)檢測。

全球FOUP清洗機（FOUPCleaner）廠商有HugleElectronics和BrooksAutomation等，全球前兩大廠商共占有大約88%的市場份額。目前日本是全球的FOUP清洗機市場，占有大約48%的市場份額，之后是美國市場。2020年，全球FOUP清洗機市場規(guī)模達(dá)到了5.8億元，預(yù)計2027年將達(dá)到9.6億元，年復(fù)合增長率(CAGR)為5.3%。本報告研究全球與中國市場FOUP清洗機的產(chǎn)能、產(chǎn)量、銷量、銷售額、價格及未來趨勢。重點分析全球與中國市場的主要廠商產(chǎn)品特點、產(chǎn)品規(guī)格、價格、銷量、銷售收入及全球和中國市場主要生產(chǎn)商的市場份額。歷史數(shù)據(jù)為2016至2020年，預(yù)測數(shù)據(jù)為2021至2027年。按照不同產(chǎn)品類型，包括如下幾個類別：全自動FOUP清潔機手動FOUP清潔機按照不同應(yīng)用，主要包括如下幾個方面：IDM廠商、Foundry鑄造廠江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司的設(shè)備操作簡單，效率高，是你的生產(chǎn)利器！

FOUP內(nèi)的化學(xué)物質(zhì)殘留可以采取以下方法進(jìn)行去除：清洗劑清洗：使用適當(dāng)?shù)那逑磩┻M(jìn)行清洗，以去除FOUP內(nèi)的化學(xué)物質(zhì)殘留。選擇與殘留物化學(xué)性質(zhì)相匹配的清洗劑，并進(jìn)行適當(dāng)?shù)臎_洗或浸泡，以將化學(xué)物質(zhì)從FOUP表面去除。溶劑清洗：某些化學(xué)物質(zhì)可以通過溶劑清洗來去除。選擇適當(dāng)?shù)娜軇鶕?jù)化學(xué)物質(zhì)的性質(zhì)進(jìn)行清洗。溶劑可以幫助溶解和分離化學(xué)物質(zhì)殘留，并通過沖洗或浸泡的方式將其去除。氧化處理：一些化學(xué)物質(zhì)殘留可以通過氧化處理來去除。例如，使用適當(dāng)?shù)难趸瘎┗蜓趸郧逑磩?，如過氧化氫、臭氧等，可以將化學(xué)物質(zhì)氧化為更易去除的形式。洗滌劑清洗：使用專門設(shè)計用于去除化學(xué)物質(zhì)殘留的洗滌劑進(jìn)行清洗。這些洗滌劑通常具有針對特定化學(xué)物質(zhì)的配方，可以有效去除化學(xué)物質(zhì)的殘留。高溫處理：將FOUP加熱至較高溫度，以促使化學(xué)物質(zhì)殘留的揮發(fā)或分解。高溫處理可以通過熱解或蒸發(fā)的方式將化學(xué)物質(zhì)殘留去除。選擇我司設(shè)備，讓你的生產(chǎn)更加智能化、自動化！中國臺灣FOSB清洗機按需定制

我司設(shè)備采用先進(jìn)技術(shù)，助你輕松提升生產(chǎn)效率！上海全自動晶圓盒清洗機聯(lián)系方式

對于晶圓加工的各個環(huán)節(jié)而言，清洗工藝都是必不可少的基本工序，隨著芯片制造工藝先進(jìn)程度的持續(xù)提升，對晶圓表面污染物的控制要求也在不斷提高，清洗工序也不斷向精細(xì)化發(fā)展，而對清洗設(shè)備的需求也在相應(yīng)增加。

據(jù)SEMI的數(shù)據(jù)預(yù)測，到2025年，中國在半導(dǎo)體行業(yè)的設(shè)備采購將達(dá)到345億美元，占全球三分之一，其中FOUP盒清洗設(shè)備采購占有很大比例，而目前國內(nèi)品牌在這一領(lǐng)域還幾乎處于空白狀態(tài)，主要依靠美系和日系產(chǎn)品，可以說國內(nèi)的FOUP盒清潔設(shè)備還是一片藍(lán)海。面對巨大的機遇與挑戰(zhàn)，江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司迎難而上，開發(fā)了擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的FOUP盒清潔設(shè)備，填補了國內(nèi)行業(yè)空白。

上海全自動晶圓盒清洗機聯(lián)系方式

江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中，一直處在一個不斷銳意進(jìn)取，不斷制造創(chuàng)新的市場高度，多年以來致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，在江蘇省等地區(qū)的機械及行業(yè)設(shè)備中始終保持良好的商業(yè)口碑，成績讓我們喜悅，但不會讓我們止步，殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志，和諧溫馨的工作環(huán)境，富有營養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新，勇于進(jìn)取的無限潛力，江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來，回首過去，我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜，相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備，要不畏困難，激流勇進(jìn)，以一個更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來！