遼寧全自動(dòng)FOUP清洗機(jī)

    來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-12-20

    產(chǎn)品介紹:FOUP清洗機(jī)是一種自動(dòng)的離心清洗機(jī),適用于所有類型的晶圓料盒(Smif Foup 、Fosb 、Cassette ),可以實(shí)現(xiàn)良好的清洗和干燥效果。 裝載有待清洗的foup,在Chamber的中心轉(zhuǎn)軸上安裝和固定,在封閉的清洗室內(nèi)360 正 反轉(zhuǎn)動(dòng)。由DI Water的表面張力、機(jī)械力進(jìn)行Particle清洗, 離心+熱風(fēng)進(jìn)行烘干等工藝組成,高效率、高質(zhì)量完成foup的ParticFOUP清洗機(jī),Casstte清洗機(jī),FOSB清洗機(jī),離心清洗機(jī),晶圓清洗機(jī),清洗干燥,360正反轉(zhuǎn)動(dòng)清洗機(jī),離心熱風(fēng)洪干清洗機(jī)。芯夢(mèng)設(shè)備配備快速調(diào)整功能,適應(yīng)不同使用場(chǎng)景!遼寧全自動(dòng)FOUP清洗機(jī)

    遼寧全自動(dòng)FOUP清洗機(jī),清洗機(jī)

    產(chǎn)品介紹:半導(dǎo)體清洗機(jī)請(qǐng)認(rèn)準(zhǔn)江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司,經(jīng)營(yíng)各類半導(dǎo)體清洗機(jī),為國內(nèi)半導(dǎo)體清洗機(jī)專業(yè)供應(yīng)商,其中就包含F(xiàn)OUP清洗機(jī)。

    FOUP清洗機(jī)是一種自動(dòng)的離心清洗機(jī),適用于所有類型的晶圓料盒(SmifFoup、Fosb、Cassette),可以實(shí)現(xiàn)良好的清洗和干燥效果。裝載有待清洗的foup,在Chamber的中心轉(zhuǎn)軸上安裝和固定,在封閉的清洗室內(nèi)360°正反轉(zhuǎn)動(dòng)。由DIWater的表面張力、機(jī)械力進(jìn)行Particle清洗,離心+熱風(fēng)進(jìn)行烘干等工藝組成,高效率、高質(zhì)量完成foup的Particle清洗。

    設(shè)備特點(diǎn):

    ●多達(dá)十段清洗流程設(shè)定,工藝窗口更寬;

    ●含有自動(dòng)執(zhí)行狀態(tài)顯示,快速檢視狀態(tài)及工作時(shí)間;

    ●扭力偵測(cè)轉(zhuǎn)籃卡榫未定位保護(hù),降低因人為導(dǎo)致設(shè)備損壞;

    ●主軸以伺服馬達(dá)控制達(dá)到穩(wěn)定加減速及轉(zhuǎn)速數(shù)值化設(shè)定控制;

    ●旋轉(zhuǎn)式離心清洗,可正反調(diào)速旋轉(zhuǎn),清理產(chǎn)品表面的附著殘留;

    ●以IR烘烤加速干燥時(shí)間,無任何水份殘留;

    ●采用體(二流體選項(xiàng))的清洗模式,能有效的去處微小的污染物;

    ●操作程序PLC控制可按作業(yè)需求自由調(diào)整,方便快捷,人性化設(shè)計(jì)。

    應(yīng)用范圍:

    該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制程的Foup、Fosb、Cassette的Particle清洗。


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    我們提供各種半導(dǎo)體片盒、FOUP、FOSB清潔方案客戶定制清洗方案做到360度無死角清洗,并防止細(xì)菌滋生專項(xiàng)研發(fā)雙流體旋轉(zhuǎn)噴射清洗方式,實(shí)現(xiàn)超微精密清洗,節(jié)能設(shè)計(jì);高效干燥技術(shù),AMC化合物去除技術(shù)全生產(chǎn)過程實(shí)時(shí)監(jiān)控,兼容自動(dòng)傳輸系統(tǒng)(AMHS);SEMI通訊標(biāo)準(zhǔn)兼容GEM300,符合SEMIS2、S8標(biāo)準(zhǔn)高產(chǎn)量,占地面積設(shè)計(jì)。

    我們的晶圓盒清洗機(jī)采用智能化設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小,適合各種生產(chǎn)場(chǎng)景。外觀精美,質(zhì)感上乘,提升了生產(chǎn)品質(zhì)。同時(shí),我們的晶圓盒清洗機(jī)具有多種智能功能,能夠自動(dòng)識(shí)別晶圓盒類型,自動(dòng)調(diào)整清洗和干燥的參數(shù),保證清洗和干燥的效果穩(wěn)定可靠。操作簡(jiǎn)單,維護(hù)方便,降低使用成本。選擇我們的晶圓盒清洗機(jī),讓您的晶圓生產(chǎn)更加智能化、便捷!


    FOUP清洗機(jī)是一種清洗foup的設(shè)備,用于清洗和處理FOUP(FrontOpeningUnifiedPod)。FOUP是半導(dǎo)體制造過程中存放晶圓的封閉式容器。FOUP清洗機(jī)通過自動(dòng)化的清洗過程,去除FOUP內(nèi)外的污染物,確保晶圓的高純度和可靠性。FOUP清洗機(jī)具備多種功能和處理能力。它能夠去除FOUP內(nèi)的油脂、有機(jī)物、化學(xué)物質(zhì)殘留和水分。清洗機(jī)采用不同的清洗方法和工藝參數(shù),如噴淋清洗、超聲波清洗、高溫處理等,以適應(yīng)不同類型的污染物,并確保清洗效果。清洗機(jī)具有高效快速的特點(diǎn)。它能夠在短時(shí)間內(nèi)完成清洗過程,提高生產(chǎn)效率。自動(dòng)化控制系統(tǒng)確保清洗過程的精確執(zhí)行,減少人為操作的誤差。FOUP清洗機(jī)注重安全性和可靠性。它采用高質(zhì)量的材料和密封結(jié)構(gòu),確保清洗過程中不會(huì)對(duì)FOUP造成損害。安全控制系統(tǒng)和報(bào)警裝置保障操作人員的安全。清洗機(jī)還配備直觀的用戶界面和操作控制面板,使操作人員能夠輕松控制和監(jiān)測(cè)清洗過程。清洗機(jī)還具備數(shù)據(jù)記錄和追溯功能,方便對(duì)清洗過程進(jìn)行監(jiān)控和分析。它可記錄清洗參數(shù)、時(shí)間和結(jié)果等信息,為質(zhì)量控制江蘇芯夢(mèng)期待與您共同解決晶圓盒清洗問題!

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    全球FOUP清洗機(jī)(FOUPCleaner)廠商有HugleElectronics和BrooksAutomation等,全球前兩大廠商共占有大約88%的市場(chǎng)份額。目前日本是全球的FOUP清洗機(jī)市場(chǎng),占有大約48%的市場(chǎng)份額,之后是美國市場(chǎng)。2020年,全球FOUP清洗機(jī)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到了5.8億元,預(yù)計(jì)2027年將達(dá)到9.6億元,年復(fù)合增長(zhǎng)率(CAGR)為5.3%。本報(bào)告研究全球與中國市場(chǎng)FOUP清洗機(jī)的產(chǎn)能、產(chǎn)量、銷量、銷售額、價(jià)格及未來趨勢(shì)。重點(diǎn)分析全球與中國市場(chǎng)的主要廠商產(chǎn)品特點(diǎn)、產(chǎn)品規(guī)格、價(jià)格、銷量、銷售收入及全球和中國市場(chǎng)主要生產(chǎn)商的市場(chǎng)份額。歷史數(shù)據(jù)為2016至2020年,預(yù)測(cè)數(shù)據(jù)為2021至2027年。按照不同產(chǎn)品類型,包括如下幾個(gè)類別:全自動(dòng)FOUP清潔機(jī)手動(dòng)FOUP清潔機(jī)按照不同應(yīng)用,主要包括如下幾個(gè)方面:IDM廠商、Foundry鑄造廠芯夢(mèng)設(shè)備操作簡(jiǎn)便,維護(hù)方便,降低你的生產(chǎn)成本!中國臺(tái)灣半自動(dòng)FOUP清洗機(jī)聯(lián)系人

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    產(chǎn)品介紹:全自動(dòng)FOUP清洗機(jī)適用于行業(yè)主流的12inchFOUP/FOSBParticles及金屬離子清洗。設(shè)備配備多級(jí)精密過濾系統(tǒng),有效保證潔凈等級(jí),滿足制程需求class10/100。配置多種噴淋清洗工藝,可實(shí)現(xiàn)360°清洗,保證制程的高精度清洗需求。配備真空干燥系統(tǒng)可提升效率,滿足低濕度要求,濕度實(shí)時(shí)監(jiān)控。(Option)1.支持EAP/MES/AMHS主流通訊協(xié)議,SECS/GEM200/300。2.支持OHT/PGV/AGV設(shè)備對(duì)接。3.符合SEMIS2、S8/CE半導(dǎo)體制造標(biāo)準(zhǔn)及認(rèn)證。應(yīng)用范圍:該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。遼寧全自動(dòng)FOUP清洗機(jī)

    江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司專注于為襯底、集成電路和先進(jìn)封裝等領(lǐng)域提供先進(jìn)濕法制程裝備及工藝的解決方案。我們的主要產(chǎn)品涵蓋全自動(dòng)晶圓級(jí)ENEPIG化學(xué)鍍?cè)O(shè)備、全自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)、全自動(dòng)單片清洗機(jī)、以及單片電鍍機(jī)等。芯夢(mèng)始終秉持技術(shù)創(chuàng)新的理念,不斷攻克創(chuàng)新產(chǎn)品技術(shù),踐行在微納領(lǐng)域用先進(jìn)技術(shù)護(hù)家強(qiáng)國的企業(yè)使命。我們引以為傲的是國內(nèi)首臺(tái)全自動(dòng)ENEPIG化學(xué)鍍?cè)O(shè)備,該設(shè)備成功打破了國外的壟斷,目前在國內(nèi)市場(chǎng)占有率超過80%,積累了數(shù)十個(gè)在國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的成功案例。我們還自主研發(fā)了國內(nèi)首臺(tái)全自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī),成功打破了國外的壟斷,并已在國內(nèi)多家半導(dǎo)體企業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。

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