陜西半自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)聯(lián)系人

    來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-12-19

    晶圓盒清洗的目的是為了確保晶圓在制造和運(yùn)輸過(guò)程中不受到污染。晶圓盒是一種用于存儲(chǔ)和運(yùn)輸晶圓的容器,通常由聚合物或金屬制成。在制造和運(yùn)輸過(guò)程中,晶圓盒可能會(huì)受到粉塵、油脂、化學(xué)物質(zhì)等污染物的影響,這些污染物可能會(huì)影響晶圓的質(zhì)量和性能。

    通過(guò)對(duì)晶圓盒進(jìn)行清洗,可以有效地去除盒內(nèi)的污染物,確保晶圓在盒內(nèi)處于干凈的環(huán)境中。這可以減少晶圓生產(chǎn)過(guò)程中的污染風(fēng)險(xiǎn),提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。此外,清洗晶圓盒還可以延長(zhǎng)其使用壽命和維護(hù)成本,減少生產(chǎn)成本。

    總之,晶圓盒清洗是半導(dǎo)體制造中非常重要的一個(gè)環(huán)節(jié),它可以確保晶圓在生產(chǎn)和運(yùn)輸過(guò)程中不受到污染,從而保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。 我司設(shè)備設(shè)計(jì)精巧,功能齊全,助你實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)多樣化!陜西半自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)聯(lián)系人

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    產(chǎn)品介紹:半導(dǎo)體清洗機(jī)請(qǐng)認(rèn)準(zhǔn)江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司,經(jīng)營(yíng)各類半導(dǎo)體清洗機(jī),為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體清洗機(jī)專業(yè)供應(yīng)商,其中就包含F(xiàn)OUP清洗機(jī)。

    FOUP清洗機(jī)是一種自動(dòng)的離心清洗機(jī),適用于所有類型的晶圓料盒(SmifFoup、Fosb、Cassette),可以實(shí)現(xiàn)良好的清洗和干燥效果。裝載有待清洗的foup,在Chamber的中心轉(zhuǎn)軸上安裝和固定,在封閉的清洗室內(nèi)360°正反轉(zhuǎn)動(dòng)。由DIWater的表面張力、機(jī)械力進(jìn)行Particle清洗,離心+熱風(fēng)進(jìn)行烘干等工藝組成,高效率、高質(zhì)量完成foup的Particle清洗。

    設(shè)備特點(diǎn):

    ●多達(dá)十段清洗流程設(shè)定,工藝窗口更寬;

    ●含有自動(dòng)執(zhí)行狀態(tài)顯示,快速檢視狀態(tài)及工作時(shí)間;

    ●扭力偵測(cè)轉(zhuǎn)籃卡榫未定位保護(hù),降低因人為導(dǎo)致設(shè)備損壞;

    ●主軸以伺服馬達(dá)控制達(dá)到穩(wěn)定加減速及轉(zhuǎn)速數(shù)值化設(shè)定控制;

    ●旋轉(zhuǎn)式離心清洗,可正反調(diào)速旋轉(zhuǎn),清理產(chǎn)品表面的附著殘留;

    ●以IR烘烤加速干燥時(shí)間,無(wú)任何水份殘留;

    ●采用體(二流體選項(xiàng))的清洗模式,能有效的去處微小的污染物;

    ●操作程序PLC控制可按作業(yè)需求自由調(diào)整,方便快捷,人性化設(shè)計(jì)。

    應(yīng)用范圍:

    該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制程的Foup、Fosb、Cassette的Particle清洗。


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    FOUP清洗機(jī)是一種清洗foup的設(shè)備,用于清洗和處理FOUP(FrontOpeningUnifiedPod)。FOUP是半導(dǎo)體制造過(guò)程中存放晶圓的封閉式容器。FOUP清洗機(jī)通過(guò)自動(dòng)化的清洗過(guò)程,去除FOUP內(nèi)外的污染物,確保晶圓的高純度和可靠性。FOUP清洗機(jī)具備多種功能和處理能力。它能夠去除FOUP內(nèi)的油脂、有機(jī)物、化學(xué)物質(zhì)殘留和水分。清洗機(jī)采用不同的清洗方法和工藝參數(shù),如噴淋清洗、超聲波清洗、高溫處理等,以適應(yīng)不同類型的污染物,并確保清洗效果。清洗機(jī)具有高效快速的特點(diǎn)。它能夠在短時(shí)間內(nèi)完成清洗過(guò)程,提高生產(chǎn)效率。自動(dòng)化控制系統(tǒng)確保清洗過(guò)程的精確執(zhí)行,減少人為操作的誤差。FOUP清洗機(jī)注重安全性和可靠性。它采用高質(zhì)量的材料和密封結(jié)構(gòu),確保清洗過(guò)程中不會(huì)對(duì)FOUP造成損害。安全控制系統(tǒng)和報(bào)警裝置保障操作人員的安全。清洗機(jī)還配備直觀的用戶界面和操作控制面板,使操作人員能夠輕松控制和監(jiān)測(cè)清洗過(guò)程。清洗機(jī)還具備數(shù)據(jù)記錄和追溯功能,方便對(duì)清洗過(guò)程進(jìn)行監(jiān)控和分析。它可記錄清洗參數(shù)、時(shí)間和結(jié)果等信息,為質(zhì)量控制

    我們提供各種半導(dǎo)體片盒、FOUP、FOSB清潔方案客戶定制清洗方案做到360度無(wú)死角清洗,并防止細(xì)菌滋生專項(xiàng)研發(fā)雙流體旋轉(zhuǎn)噴射清洗方式,實(shí)現(xiàn)超微精密清洗,節(jié)能設(shè)計(jì);高效干燥技術(shù),AMC化合物去除技術(shù)全生產(chǎn)過(guò)程實(shí)時(shí)監(jiān)控,兼容自動(dòng)傳輸系統(tǒng)(AMHS);SEMI通訊標(biāo)準(zhǔn)兼容GEM300,符合SEMIS2、S8標(biāo)準(zhǔn)高產(chǎn)量,占地面積設(shè)計(jì)。

    我們的晶圓盒清洗機(jī)采用智能化設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小,適合各種生產(chǎn)場(chǎng)景。外觀精美,質(zhì)感上乘,提升了生產(chǎn)品質(zhì)。同時(shí),我們的晶圓盒清洗機(jī)具有多種智能功能,能夠自動(dòng)識(shí)別晶圓盒類型,自動(dòng)調(diào)整清洗和干燥的參數(shù),保證清洗和干燥的效果穩(wěn)定可靠。操作簡(jiǎn)單,維護(hù)方便,降低使用成本。選擇我們的晶圓盒清洗機(jī),讓您的晶圓生產(chǎn)更加智能化、便捷!


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    FOUP(FrontOpeningUnifiedPod)清洗設(shè)備是用于清洗和處理半導(dǎo)體制造中使用的FOUP(前開(kāi)式統(tǒng)一載具)的設(shè)備。FOUP是一種用于運(yùn)輸和儲(chǔ)存半導(dǎo)體晶圓的載具,通常由塑料材料制成,具有前開(kāi)式設(shè)計(jì)和統(tǒng)一的尺寸標(biāo)準(zhǔn)。FOUP清洗設(shè)備的作用是將FOUP清洗干凈,去除表面的污染物和顆粒,以確保在半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用的晶圓始終保持良好的潔凈度。FOUP清洗設(shè)備通常具有以下主要組成部分:清洗艙:清洗艙是FOUP放置和清洗的區(qū)域。它通常包括一個(gè)容納FOUP的托盤或夾具,并配備噴淋裝置、超聲波清洗器、噴氣裝置等清洗裝置。氣流系統(tǒng):氣流系統(tǒng)用于提供潔凈的氣流環(huán)境,以防止新的顆粒進(jìn)入FOUP。它通常包括高效過(guò)濾器和空氣凈化系統(tǒng),以確保提供高質(zhì)量的潔凈氣氛??刂葡到y(tǒng):控制系統(tǒng)用于監(jiān)控和控制清洗設(shè)備的運(yùn)行。它包括傳感器、執(zhí)行器和計(jì)算機(jī)控制單元,用于監(jiān)測(cè)和調(diào)節(jié)清洗過(guò)程中的溫度、壓力、時(shí)間等參數(shù)。水處理系統(tǒng):水處理系統(tǒng)用于提供清潔的水源,用于清洗FOUP。它通常包括反滲透系統(tǒng)、離子交換器和過(guò)濾器,以去除水中的離子、顆粒和有機(jī)物。芯夢(mèng)產(chǎn)品是市場(chǎng)上性價(jià)比的選擇,您不會(huì)失望的!浙江全自動(dòng)片盒清洗機(jī)報(bào)價(jià)

    江蘇芯夢(mèng)設(shè)備采用先進(jìn)技術(shù),助你輕松提升產(chǎn)能!陜西半自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)聯(lián)系人

    FOUP清洗設(shè)備在半導(dǎo)體制造中起著重要的作用,可以提供高質(zhì)量的晶圓潔凈度,確保半導(dǎo)體制造過(guò)程的可靠性和穩(wěn)定性。

    使用FOUP清洗設(shè)備的過(guò)程通常包括以下步驟:FOUP加載:將待清洗的FOUP放置到清洗設(shè)備的托盤或夾具上。清洗預(yù)處理:在清洗艙中對(duì)FOUP進(jìn)行預(yù)處理,例如使用噴淋裝置和超聲波清洗器清洗表面的污染物。水洗:使用清潔的水源對(duì)FOUP進(jìn)行徹底的水洗,以去除清洗劑和殘留的污染物。干燥:通過(guò)噴氣裝置或其他干燥方法將FOUP表面的水分蒸發(fā),確保FOUP完全干燥。卸載:將清洗干凈的FOUP從清洗設(shè)備中取出,準(zhǔn)備進(jìn)行后續(xù)的半導(dǎo)體制造工藝。 陜西半自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)聯(lián)系人

    江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中,一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取,不斷制造創(chuàng)新的市場(chǎng)高度,多年以來(lái)致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價(jià)值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn),在江蘇省等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備中始終保持良好的商業(yè)口碑,成績(jī)讓我們喜悅,但不會(huì)讓我們止步,殘酷的市場(chǎng)磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志,和諧溫馨的工作環(huán)境,富有營(yíng)養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開(kāi)拓創(chuàng)新,勇于進(jìn)取的無(wú)限潛力,江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來(lái),回首過(guò)去,我們不會(huì)因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績(jī)而沾沾自喜,相反的是面對(duì)競(jìng)爭(zhēng)越來(lái)越激烈的市場(chǎng)氛圍,我們更要明確自己的不足,做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備,要不畏困難,激流勇進(jìn),以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家,共同走向輝煌回來(lái)!

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